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工作台纳米性能Aerotech推出线性双轴工作台ANT130-XY

Aerotech 日前已推出在高达 160 x 160 毫米的行程提供纳米级性能的线性双轴工作台。此款新型 ANT130-XY 工作台可在两维平面上行驶,具有 85 毫米的出色低断面设计。由于每轴都具有高分辨率(1 nm)、高重复精度(75 nm)和高定位精度(250 nm),这些工作台可以极高的定位稳定度和平稳的运动支持所有需要纳米定位性能的应用。

  ANT130-XY 工作台设计用于范围宽广的研发和制造领域,包括数据存储半导体激光显微机加工 、医疗、传感器测试、检查、材料沉积和 MEMS/纳米技术设备的制造。

  这些工作台使用 Aerotech 的专属先进直接驱动技术和交叉滚子轴承以达到最高水平的定位性能。 直接驱动技术没有滞后与背隙,因此在 X 和 Y 方向都能够产生准确和可重复的运动。所有行程选择(60 mm x 60 mm, 110 mm x 110 mm, 160 mm x 160 mm)都具有 85 毫米高度。

  ANT130-XY 设计可优化正交性、直线度和平直度等关键要素, 从而造成一个具有出色几何公差的工作台。 其整合缆线管理系统的设计可将拖曳力降低到最小。

  此款新工作台可与其它 Aerotech ANT 系列产品相结合 – 例如垂直提升工作台、直接驱动旋转平台和角位台 – 从而创建独特的高性能多轴纳米定位系统。

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