av4机床

光刻客户设备ASML新的里程碑 每日处理晶圆超越4000

ASML近日宣布,两位使用TWINSCAN光刻机的芯片制造商实现了生产新纪录,即在24小时内实现了超过4000片晶圆的处理。这个里程碑记录是在XT:870和XT:400上实现的,两家使用者为亚洲的不同客户。设备帮助他们提高了300mm光刻生产能力。

ASML和客户一直致力于共同提高ASML光刻机的生产能力。ASML努力改善光刻机的硬件和软件,而客户则专注于改进工艺菜单和制造工艺。

衡量共同努力的一项关键指标就是一天之内处理的晶圆数量。另一项衡量指标是设备能够在365天内实现100万片晶圆处理。第一台实现一年内处理超过100万晶圆的ASMLTWINSCAN系统的是TWINSCANXT:400EiLine,时间是在2007年10月。现在已有超过200台设备达到了这个指标,包括了iLine、KrF和ArF,以及超过25台浸入式光刻机。另外,最快实现100万晶圆处理的时间是37周。

“光刻机这样复杂的设备能实现生产的里程碑,这是我们的员工和客户共同努力合作的结果。”ASMLCMO和执行副总裁FritsvanHout说,“为客户提供高生产效率一直是ASML的目标。我们将一如既往的提升我们的价值。”

0.40635514259338 s